在半(ban)導(dao)體(ti)器件生產車(che)間,由于塵埃(ai)吸(xi)附在芯片(pian)上,尤其是超大(da)規(gui)模集(ji)成電路的(de)成品(pin)(pin)率會大(da)大(da)下(xia)降(jiang)。生產車(che)間操(cao)作(zuo)人(ren)(ren)員(yuan)都穿潔(jie)凈工(gong)作(zuo)服(fu),若(ruo)人(ren)(ren)體(ti)帶靜電,則極易吸(xi)附塵埃(ai)、污物等,若(ruo)這些塵埃(ai)、污物被帶到操(cao)作(zuo)現場(chang)的(de)話,將影響產品(pin)(pin)質量,惡化(hua)產品(pin)(pin)性(xing)能(neng)、大(da)大(da)降(jiang)低成品(pin)(pin)率。如果吸(xi)附的(de)灰塵粒子(zi)的(de)半(ban)徑(jing)大(da)于線條寬度約(yue)時(shi),薄(bo)膜厚度在下(xia)時(shi),則最易使產品(pin)(pin)報廢。
所(suo)以在的(de)(de)(de)加工生產(chan)和(he)封(feng)裝(zhuang)過程中(zhong)建(jian)立(li)起靜電(dian)防護系統是很有(you)必要的(de)(de)(de)IC封(feng)裝(zhuang)生產(chan)線(xian)對靜電(dian)的(de)(de)(de)要求更為嚴格。為了保證(zheng)生產(chan)線(xian)的(de)(de)(de)正常運行,對其潔凈廠房進行防靜電(dian)建(jian)筑材料的(de)(de)(de)整(zheng)體裝(zhuang)修(xiu),對進出潔凈廠房的(de)(de)(de)所(suo)有(you)人(ren)員配(pei)備(bei)防靜電(dian)服(fu)裝(zhuang)等采取硬件(jian)措施外,封(feng)裝(zhuang)企業(ye)可根據國家有(you)關標準(zhun)和(he)本企業(ye)的(de)(de)(de)實際隋況(kuang)制(zhi)定出在防靜電(dian)方面的(de)(de)(de)企業(ye)標準(zhun)或具體要求,來配(pei)合(he)封(feng)裝(zhuang)生產(chan)線(xian)的(de)(de)(de)正常運轉。
由于即(ji)除(chu)塵(chen)又除(chu)靜電(dian)的(de)設備品種較多,如(ru)何選擇適合(he)自己的(de)產品主要(yao)根據生產線上的(de)狀況來決定。以下介紹幾(ji)種即(ji)除(chu)塵(chen)又除(chu)靜電(dian)的(de)設備:
1、離子(zi)風(feng)槍:它(ta)的特點是(shi)手持式的,操作方(fang)式很隨意,它(ta)比較適合用在檢驗部位(wei),檢驗者看到(dao)那里有灰塵(chen)只要(yao)拿起風(feng)槍吹一下就可以了(le)。
2、離子風嘴:它是固(gu)定(ding)式(shi)的產品(pin),體積小,不占地方,它比較適合流水線(xian)上或部(bu)分空間(jian)狹小的工(gong)位。也可以做成腳踏式(shi)和感應(ying)式(shi)。
3、離(li)子風蛇(she):它(ta)有三種款(kuan)式(shi):普通式(shi)、感應式(shi)和(he)腳踏(ta)式(shi),可以滿足(zu)客戶生(sheng)產現場不同(tong)環境(jing)的需要(yao)。適合用在有空間放(fang)置,無需人(ren)員(yuan)操作,但需要(yao)經(jing)常調整(zheng)吹塵(chen)方向的工位。
除以上(shang)(shang)產品在部分流水(shui)線和(he)操作(zuo)工位上(shang)(shang)還需(xu)裝離(li)子(zi)風(feng)機(ji),從而降低靜電的累積,避免產品在不(bu)(bu)知不(bu)(bu)覺中被擊(ji)穿。可以選用(yong)我司的懸(xuan)掛(gua)式離(li)子(zi)風(feng)機(ji),消(xiao)電面積大,不(bu)(bu)占用(yong)工作(zuo)空間,可以根據工作(zuo)臺的大小或流水(shui)線的寬度來(lai)選擇。
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